微波等離子體的特點

　　（１）活性強，微波等離子體對氣體的電離和離解程度比其他類型的等離子體（如電弧等離子體）高１０倍。因此，微波等離子體更能增強氣體分子的激發、電離和離解過程，激發的亞穩態原子多。例如氮在直流及射頻放電時，用光譜方法測不出有氮原子譜線，但在微波等離子體中都出現氮譜線。說明氮在直流和射頻放電中，即使能分解成氮原子，也只是激發態的氮。

 　（２）反應區內沒有電極，因此，消除了電極自身造成的污染。適合于作高純度物質的制備和處理，而且工藝效率更高。

　 （３）反應區內的壓力能在很寬范圍進行調整。

 　（４）微波等離子體中自由電子的溫度高于離子的溫度，因此，通過適當的電磁場、氣壓、氣體種類的選擇和調整，可控制反應區中的溫度范圍。

 　（５）利用微波電磁場的分布特點，即所謂“空洞結構”，有可能把等離子體封閉在特定的空間；也可以利用磁場來輸送等離子體，這樣做的目的是讓工藝加工區域與放電空間分離這樣一來，即便于采取各種相宜的工藝措施，又能避免等離子體的輻射損傷或消除可能產生的某些副反應。

  　由于具有上述的特點，微波等離子體在材料的合成、燒結、沉積和浸蝕、表面處理等方面。