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金屬、無機材料的微波氮化處理
金屬、無機材料的氮化處理裝置往往采用等離子體發生室和處理室合一的裝置。以金屬的氮化處理為例，使用氮和氫的混合氣體，加入氫的目的就是除去金屬表面的氧化物，使氮化容易進行。在離子體中，除了有氮和氫的原子的電離、分子的電離外，同時存在著活潑的氮原子和氫原子等粒子。這些活潑的原子、離子和金屬表面發生作用，生成氮化物。典型的處理條件是，氣壓為０．１ Ｔｏｒｒ一１ Ｔｏｒｒ，流量為１０ｍ１／ｍｉｎ１００ｍ１／ｍｉｎ，微波能功率為０．５ｋＷ －－ ３ｋＷ，處理時間為幾十分到幾小時。
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